Физические основы микротехнологии
Автор::
Издательство :
Мир
Формат:
DJVU
Размер:
6,17 МБ
Год :
1985
Язык:
Русский
Страниц:
496
Раздел:
В книге американских специалистов изложены физические принципы основных технологических процессов современной (на 1985 год) микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Рассмотрены перспективы совершенствования технологии и фундаментальные ограничения на дальнейшее развитие микроэлектроники.
Для специалистов в области электронной техники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей вузов