Физические основы микротехнологии

Издательство : 
Мир
Формат: 
DJVU
Размер: 
6,17 МБ
Год : 
1985
Язык: 
Русский
Страниц: 
496
Раздел:

В книге американских специалистов изложены физические принципы основных технологических процессов современной (на 1985 год) микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Рассмотрены перспективы совершенствования технологии и фундаментальные ограничения на дальнейшее развитие микроэлектроники.
Для специалистов в области электронной техники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей вузов